高溫電爐真空系統(tǒng)

高溫電爐中直空系統(tǒng)適用干真空度在3X10~~1333Pa范圍的真空熱處

理爐。中真空系統(tǒng)在真空熱處理爐中應(yīng)用最廣泛，其通常由兩級真空

泵機組組成。初級泵多采用旋轉(zhuǎn)機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械

增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵

高溫電爐高真空系統(tǒng)

高真空系統(tǒng)適用于真空度在6.6x10~~1333X10。Pa范圍的

高溫電爐真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵機組

組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉(zhuǎn)機

械泵或滑閥式機械泵。